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Pharos探針系列——全球首個用于晶圓測量的硅光子探針

產品詳情


FormFactor的Pharos?探針系列徹底革新了晶圓級光子學測試,既為硅光子學(SiPh)應用提供了低損耗邊緣耦合,也增強了表面耦合。該系列擁有多個版本——Pharos? Edge 短焦、長焦和垂直鏡頭——提供高精度、自動化和靈活性,滿足從工程到大規模生產環境的需求,并提供高精度光學測量。

Pharos探針旨在支持數據中心、可穿戴設備、人工智能和激光雷達等行業,確保對光學收發機、傳感器和光互連的準確可靠測試。配合FormFactor的SiPh-Tools 4.0,該系統包含AutoCal和自主硅光子學助手,提供自動化校準,簡化設置,使即使是經驗不足的用戶也能輕松完成復雜測試。

主要特征:

  • 三種多功能版本:

    • 短鏡頭:非常適合晶圓級溝槽,溝槽深度和工作距離較短。

    • 長鏡頭:設計用于晶圓級V型槽,溝槽更深且工作距離更長。

    • 豎版:針對垂直/光柵耦合耦合應用進行了優化,在晶圓級光子學技術中提供了多功能性。


  • 低損耗邊緣耦合:
    Pharos-Edge?短焦和長焦鏡頭確保晶圓級溝槽和V型溝的低損耗耦合,提供高精度光學測量,這對硅光子學測試至關重要。

  • 自動校準支持AutoCal:
    整合SiPh-Tools 4.0,AutoCal功能簡化校準流程,加快設置速度,減少手動調整需求。這帶來了更高的吞吐量和更低的運營成本。

  • 專利透鏡與透鏡技術:
    FormFactor獨特的光學透鏡和透鏡設計提供準確定位和可靠結果,用戶交互極少,確保測量可重復且精確。



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