V400ACE 聚焦離子束 (FIB)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

V400ACE聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)整合了離子柱設(shè)計(jì)、氣體輸送和端點(diǎn)檢測(cè)的最新成果，為先進(jìn)的集成電路提供快速、高效、經(jīng)濟(jì)有效的加工修改。

電路編輯可以讓產(chǎn)品設(shè)計(jì)師在數(shù)小時(shí)內(nèi)更改導(dǎo)電通道和測(cè)試修改后的電路，而不是需要幾周或幾個(gè)月來生成新的掩模和加工新的晶圓。 更少、更短的修改和測(cè)試周期允許制造商加速新工藝，以更快地獲得高產(chǎn)量的利潤(rùn)，并率先推出定價(jià)更高的新產(chǎn)品。 V400ACE是專門為滿足先進(jìn)設(shè)計(jì)和工藝的挑戰(zhàn)而設(shè)計(jì)的:更小的幾何尺寸、更高的電路密度、奇異的材料和復(fù)雜的互連結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品特性

• 快速，精確的電路修改

• 納米化學(xué)氣體輸送系統(tǒng)

• 同時(shí)繪制SE和樣品電流圖，提高了端點(diǎn)檢測(cè)能力

• 快速、準(zhǔn)確的橫截面顯示缺陷

• 可選的背面編輯能力與近紅外顯微鏡

產(chǎn)品應(yīng)用

失效分析

微組裝

規(guī)格參數(shù)