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Cascade PA200 BlueRay 200mm半/全自動量產型探針臺

產品詳情


產品簡介


半自動或全自動   高吞吐量測試

PA200 BlueRay? 可實現光電(如 LED)、MEMS(比如壓力傳感器)和 RF(例如 SAW/BAW 濾波器)器件的高吞吐量功能測試。其精度可確保平穩的探針降落,具有安全、可重復的電接觸。PA200 BlueRay 專為實現每天 24 小時、每周 7 天的不間斷運行而設計,可現場升級晶圓傳送機械。

產品特性


PA200 BlueRay with MHU probe system

高吞吐量

  • DieDie之間的步進時間小于100ms

  • Die測量技術可實現20 Dies/s(70,000 Dies/h)的測量速率

  • 能更快地獲得測量數據




Z 軸準確度

  • 在所有生產型探針中具有最高的 Z 軸分辨率

  • 獨特的 Z 軸剖析功能

  • 即使是高度方面的極端變化(比如,晶圓發生扭曲的場合)也可予以補償

  • 最大限度減小Pad上劃痕

  • 提升良率




高效益

  • 極小的占地面積

  • 配有與主流分析儀表、軟件和測試機的通訊接口

  • 低擁有成本

  • 投資回報快



雙面測試選項

  • 背面儀表,例如,積分球、光纖設置、壓力模塊

  • 可接觸被測器件 (DUT) 和正面和反面

  • 高度準確的光測量



Velox 探針臺控制軟件

  • 以用戶為中心的設計最大程度地減少了培訓成本并提高了效率

  • 全面的對齊功能從簡單的晶圓圖建立和對齊到先進的自動探針與pad對位

  • 為經驗不足的用戶簡化操作流程:工作流程指南和精簡的用戶圖形界面幫助降低培訓成本

  • VeloxPro選件:符合SEMI E95的測試執行軟件,可簡化操作和整個晶圓測試周期的安全自動測量。




可升級至全自動化系統(選 項)

  • 現場升級晶圓傳送裝置

  • 實現7X24小時不間斷、全自動作業



產品應用


RF/mmW, Opto, MEMS


產品手冊 下載

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