產品簡介
PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡，通過偵測半導體缺陷引起的微弱的光發射和熱發射來準確定位半導體器件的失效位置。
設備既可以與通用型探針臺組合使用，也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進行動態失效分析。PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務和應用范圍需求。
產品特性
產品應用
半導體失效分析
規格參數
供電電壓 | AC200 V (50 Hz/60 Hz) |
功耗 | Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA) |
真空需求 | Approx. 80 kPa or more |
壓縮空氣需求 | 0.5 MPa to 0.7 MPa |
尺寸/重量 | Main unit: 1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H), Approx. 1500 kg Control rack: 880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 150 kg Operation desk: 1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg |
